نیمه هادی و ابزار دقیق

صفحه اصلی / کاربرد / نیمه هادی و ابزار دقیق
نیمه هادی و ابزار دقیق

نیمه هادی و ابزار دقیق

در مواد رسانا و بخش های ابزار دقیق، فلنج ها به عنوان اجزای محوری عمل می کنند که به طور همزمان عملکردهای اتصال، آب بندی، موقعیت نصب، مدیریت حرارتی و مقاومت در برابر آلودگی را انجام می دهند. در سیستم های خلاء بالا/فوق العاده بالا برای فرآیندهای نیمه هادی مانند لیتوگرافی، اچینگ و رسوب گذاری، انواع فلنج ها از جمله KF، CF و ISO، رابط های استاندارد و آب بندی بدون نشتی بین محفظه ها، مجموعه های پمپ و شیرها را امکان پذیر می کنند. این آلودگی ناخالصی را از بین می برد و در نتیجه از نرخ بازده فرآیند ویفر محافظت می کند.